微机电系统 terjemahan Indonesia

• mems

• 微:    mikro-
• 微机:    komputer mikro; komputer pribadi; mikro; pc
• 机:    mesin; pesawat terbang
• 电:    elektrik; listrik
• 系:    fakultas/pancaindera; fakulti; kebolehan;
• 系统:    cara; sistem; skema; struktur; susunan
• 输电系统:    pembekalan kuasa elektrik; transmisi tenaga listrik
• 配电系统:    distribusi tenaga listrik; pengagihan kuasa elektrik
• 有机电子学:    elektronik organik
• 雷电系列:    raiden (siri); siri raiden
• a-0 系统:    sistem a-0
• l系统:    sistem lindenmayer
• 分系统:    subsistem
• 子系统:    subsistem
• 宇宙 (系统):    kosmos

• Di Eropa, istilah MST (Micro System tehnology) lebih sering digunakan, dan di Jepang MEMS disebut dengan "micromachine".
  微机电系统在日本被称作微机械（micromachines），在欧洲被称作微系统技术（Micro Systems Technology，MST）。